×

Susisiekite

14 + 4 =

Vakuumo sistemos

Renkantis garinimo sistemą, svarbu atsižvelgti į atsiurbimo greičio, pasiekiamo darbinio vakuumo lygio, sistemos apkrovimo (našumo), pageidaujamos garinimo sistemos technologijos bei ateities planų praplėtimui aspektus. Įvertinti pasirinkimo galimybes gali būti sudėtinga, tad atsakingai įsigilinę į Jūsų norus, mūsų specialistai palengvins apsisprendimo procesą ir padės išsirinkti tinkamiausią garinimo sistemą, kuri atitiks visus Jūsų pageidavimus.

Plačios bendradarbiavimo galimybės su geriausiais garinimo sistemų tiekėjais leidžia užtikrinti, jog liksite patenkinti savo pasirinkimu. Galime pasiūlyti visų technologijų garinimo sistemas – nuo įprastų terminio garinimo sistemų iki ypatingai sudėtingų, daugiakomponenčių, pilnai automatizuotų, ultra aukšto vakuumo sistemų, kurios yra skirtos tiksliems medžiagų, opto-elektronikos, magnetinio atsparumo (GMR) ir „spintronikos“ moksliniams tyrimams.

Mūsų asortimente galite rasti visą reikalingą garinimo įrangą, padėsiančią efektyviai gauti norimą dangą. Naudodami įprastus srovės šaltinius: DC, Puls DC, RF bei itin didelio galingumo HIPIMS, galime pasiūlyti tiek reaktyvų, tiek nereaktyvų padengimą. Mėginio temperatūrą dangos padengimo metu galima reguliuoti nuo kambario temperatūros iki 800 laipsnių Celsijaus. Garinimo sistema gali būti sukomplektuota su skirtingais garinimo šaltiniais. Garinimas gali būti pilnai automatizuotas, leidžiantis atkartoti dangas itin dideliu tikslumu arba pusiau automatizuotas, leidžiantis keisti norimus garinimo procesus padengimo metu. 

Dengimas cheminiais garais (CVP) yra pagrindinis plonų dangų padengimo procesas puslaidininkių pramonėje. Galimos įvairios padengimo cheminiais garais technikos, pavyzdžiui, metalų organika, atmosferinio slėgio, žemo slėgio, ypatingai aukšto vakuumo. Plazma sustiprintas cheminių garų padengimas, kartu su garais naudojant radijo arba mikro-bangų sugeneruotą plazmą, yra labiausiai tinkamas gaminant dangas, kurios yra ypatingai trapios temperatūros pokyčiams. Viena svarbiausių PECVP pritaikymo sričių yra silicio oksinitrido dangų gamyba.

ALD yra save limituojantis CVD procesas, kuris sparčiai tampa viena pagrindinių dangų dengimo aukštos dielektrinės konstantos oksidais technikų. Metalo oksido vystymas yra pagrįstas dvejais žingsniais. Visų pirma, metalo junginio pirmtakui leidžiama laisvai reaguoti su dangos paviršiumi, o vėliau jis reaguoja su deguonimi. Tokia technika leidžia suformuoti tikslias daugiasluoksnes dangas. Šis procesas pranašus tuo, kad užtikrina sklandų ir vienodą dangos padengimą.

Elektroninio spindulio garinimo proceso metu srovė yra leidžiama per volframo siūlelį, dėl ko prasideda kaitinimas bei elektronų emisija. Aukštos srovės pagalba šie išlaisvinti elektronai ir magnetinio lauko pagalba sudarytame spindulyje yra nukreipiami į kaitinimo indą, kuriame yra padengimui skirta medžiaga. Kai šis spindulys pasiekia kaitinimo indą, visa energija perduodama padengimo medžiagai, kuri ima garuoti ir taip padengia norimą pavyzduką/dangą. Siekiant padengti nemetalines dangas, galima panaudoti papildomą slėgį ar reaktyvias dujas, tokias kaip deguonis ar azotas. Tokio tipo garinimas yra ženkliai pranašesnis už terminį garinimą. Galima pasiekti daug aukštesnę temperatūrą, o tai leidžia išgarinti net ir labai temperatūrai atsparias medžiagas, tokias kaip volframas, tantalas ar grafitas. Taip pat dangos yra daug švaresnės. Elektronų spindulio garinimą galima panaudoti įvairiems pritaikymams, kaip kad metalizacijai, dielektrinėms dangoms bei optinėms dangoms gauti.

Visos standartinės sistemos gali būti lanksčiai pritaikytos net ir ypatingiems Jūsų laboratorijos poreikiams, o specialiais atvejais – pagal individualų užsakymą galime suprojektuoti ir pagaminti vakuumo sistemą, kuri bus optimaliai pritaikyta specifiniams Jūsų darbo reikalavimams.

Taip pat galite įsigyti:

  •     Kameras
  •     Jungtis/Priemones
  •     Tepalus
  •     Matuoklius
×

Produktas

1 + 4 =

Susijusios naujienos

Leiskite jumis pasirūpinti — susisiekite su mumis
×

Susisiekite

Prašome užpildyti formą:

6 + 9 =
Breslaujos g. 3b, LT-44403 Kaunas
inospectra linkedin